?CF4泄漏分析儀基于超靈敏的懸臂梁增強光聲光譜檢測技術(shù)，結合量子級聯(lián)激光（QCL）光源，致力于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。兩者的結合提供了足夠的靈敏度，可以毫不延遲地檢測到小濃度的CF4飛濺或溢出，同時(shí)確保了超高的穩定性。重新校準周期持續數月甚至數年，從而大大降低了總體擁有成本。

　　?CF4泄漏分析儀超靈敏的專(zhuān)業(yè)光學(xué)麥克風(fēng)，基于微電機懸臂梁傳感器，結合激光干涉儀來(lái)測量懸臂梁的微觀(guān)運動(dòng)，光源配置：分布式反饋量子級聯(lián)激光器，樣品電池溫度穩定在50℃。
 

　　CF4泄漏分析和檢測要求：潔凈室需要控制污染物的水平。準確，可靠和低維護的潔凈室空氣分子污染物AMC控制可以顯著(zhù)提高生產(chǎn)率。高度靈敏的GASERAONECF4可以快速檢測生產(chǎn)環(huán)境中的污染物。另外，由于其零背景特性，直接吸收檢測可以確保長(cháng)期的高穩定性。GASERAONECF4可以與其他檢測儀器集成在一起，例如機柜中的顆粒物監測儀。

　　?CF4泄漏分析儀可以測量哪些參數？

　　1、響應時(shí)間：取決于用戶(hù)定義的通道積分時(shí)間CIT和氣體沖洗設置。根據平均時(shí)間和采樣設置，它從大約15秒到幾分鐘不等。

　　2、監測下限：N2O2ppb，CH410ppb。

　　3、動(dòng)態(tài)范圍：5個(gè)數量級（檢測下限的100,000倍）。

　　4、重復性：在操作條件下，校準濃度的重復性小于1％。

　　5、準確度：在校準濃度下優(yōu)于5％，這受校準氣體的準確性限制。

　　6、溫度穩定性：工作溫度范圍內的環(huán)境溫度變化不會(huì )引起漂移。

　　7、壓力穩定性：樣品在壓力范圍內的壓力變化不會(huì )引起漂移。